Η διασκορπισμός αντιδραστικών μαγνητρονίων είναι μια ώριμη τεχνική για την εναπόθεση ενός λεπτού σύνθετου στρώματος σε μια ευρεία γκάμα υποστρωμάτων ως άνω στρώμα ή ως ενδιάμεσο στρώμα σε πολυστρωματική επίστρωση. Το εύρος του «λεπτού» κυμαίνεται από μερικά νανόμετρα έως αρκετά μικρόμετρα.
Γιατί ένα μαγνητρόνιο ψεκάζει;
Η εκτόξευση μαγνητρονίου είναι η διαδικασία σύγκρουσης μεταξύ προσπίπτοντων σωματιδίων και στόχων … Η διασκορπισμός μαγνητρονίων αυξάνει την πυκνότητα του πλάσματος εισάγοντας ένα μαγνητικό πεδίο στην επιφάνεια της καθόδου στόχου και χρησιμοποιώντας τους περιορισμούς της το μαγνητικό πεδίο στα φορτισμένα σωματίδια για να αυξηθεί ο ρυθμός εκτόξευσης.
Τι εννοείται με τον όρο αντιδραστική εκτόξευση;
Η αντιδραστική εκτόξευση είναι μια διαδικασία που επιτρέπει στις ενώσεις να εναποτεθούν εισάγοντας ένα αντιδραστικό αέριο (συνήθως οξυγόνο ή άζωτο) στο πλάσμα το οποίο τυπικά σχηματίζεται από ένα αδρανές αέριο όπως π.χ. αργό (πιο συνηθισμένο), ξένον ή κρυπτό.
Πώς λειτουργεί ο διασκορπισμός μαγνητρόν;
Η εκτόξευση μαγνητρονίων είναι μια τεχνολογία εναπόθεσης που περιλαμβάνει ένα αέριο πλάσμα το οποίο παράγεται και περιορίζεται σε ένα χώρο που περιέχει το υλικό που πρόκειται να εναποτεθεί – τον «στόχο». … Αυτές οι συγκρούσεις προκαλούν μια ηλεκτροστατική απώθηση η οποία «εκτινάσσει» τα ηλεκτρόνια από τα άτομα αερίου που διασκορπίζουν, προκαλώντας ιονισμό.
Γιατί η RF εκτοξεύεται;
RF ή Ραδιοσυχνότητα Sputtering είναι η τεχνική που εμπλέκεται στην εναλλαγή του ηλεκτρικού δυναμικού του ρεύματος στο περιβάλλον κενού σε ραδιοσυχνότητες για να αποφευχθεί η συσσώρευση φορτίου σε ορισμένους τύπους υλικών στόχων διασκορπισμού, το οποίο με την πάροδο του χρόνου μπορεί να οδηγήσει σε δημιουργία τόξου στο πλάσμα που εκτοξεύει σταγονίδια …
